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電感耦合等離子體質譜ICP-MS，是20世紀80年代發(fā)展起來的新的分析測試技術。它的接口技術將ICP-MS的高溫（7000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優(yōu)點相結合而形成一種新型的元素和同位素分析技術，可分析幾乎地球上所有元素。ICP-MS技術的分析能力不僅可以取代傳統(tǒng)的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術、石墨爐原子吸收進行定性、半定量、定量分析及同位素比值的準確測量等。還可以與其他技術如HPLC、HPCE、GC聯(lián)用進行元素的形態(tài)、分布特性等的分析。隨著這項技術的迅速發(fā)展，現(xiàn)已被廣泛地應用于環(huán)境、半導體、醫(yī)學、生物、冶金、石油、核材料分析等領域。做為科技進步的主要推動力量，大學和科研機構，在ICP MS技術的應用開發(fā)和普及推廣上，扮演者不可取代的角色。