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電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)是目前公認(rèn)的強(qiáng)有力的元素分析技術(shù)，在元素分析和同位素分析中發(fā)揮著舉足輕重的重要作用。在ICP-MS 應(yīng)用中,地質(zhì)樣品分析應(yīng)用得較早，也較為廣泛,并且始終是一個重要領(lǐng)域。當(dāng)前,地學(xué)研究和正在開展的多目標(biāo)地質(zhì)調(diào)查對分析技術(shù)提出越來越高的要求：更多元素測定種類，更低的檢測線。目前， ICP MS法，在地質(zhì)、礦產(chǎn)中主要的應(yīng)用熱點(diǎn)方向：

1.常規(guī)微量元素分析

做為區(qū)域化探圖編制研究的主導(dǎo)設(shè)備，結(jié)合先進(jìn)的化學(xué)分離富集方法，對于絕大多數(shù)元素的配套分析問題，形成以ICP-MS為主，輔之以其他分析技術(shù)的新一代地球化學(xué)樣品分析配套系統(tǒng)

2.稀土以及鋯、鉿等痕量、超痕量元素分析

3.溴、碘、砷、硒等非金屬元素分析

4.同位素比值分析

目前，ICP-MS已經(jīng)真正在許多領(lǐng)域，尤其是地球科學(xué)以及環(huán)境領(lǐng)域的同位素比值測定中得到了很多應(yīng)用。這主要是因?yàn)镮CP-MS具有好的靈敏度、好的準(zhǔn)確度和精密度。與傳統(tǒng)使用的同位素比值測定方法相比，ICP-MS具有樣品分析速度快,樣品處理簡單，可測定高電離電位元素的優(yōu)點(diǎn)。隨著分析技術(shù)的進(jìn)步，ICP MS與其它手段的聯(lián)用技術(shù)（激光剝蝕、色質(zhì)聯(lián)用等），也在地質(zhì)、礦產(chǎn)領(lǐng)域取得了令人矚目的成果。